创成式设计和增材制造重定义芯片光刻机晶圆台的热管理性能 3D打印技术 2023-01-29 433 光刻机是科技半导体行业的皇冠，是芯片制造的重要设备，其内部结构精密复杂，决定了芯片的制造工艺。晶圆台是光刻机关键部件之一。晶圆台的作用是生产过程中用于支承和固定晶圆片。热变化会引起材料膨胀的微小变化。随着时间的推移，这些热梯度和波动会产生这样一种情况：由于晶圆表面的不断加工，其结构位置会发生改变（通常称为边缘... 阅读全文
